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かび臭い臭気、−129.06 °Cの沸点のNF3 99.99~99.999%純度の無色の電子ガス

基本情報
起源の場所: 中国
ブランド名: Newradar Gas
証明: ISO/DOT/GB
モデル番号: N/A
最小注文数量: 1 PC
価格: negotiation
パッケージの詳細: 10L-500Lシリンダーで詰められるか、または要求に従って詰められて。
受渡し時間: 10-20仕事日は後あなたの支払を受け取った
支払条件: L/C、T/T、ウェスタン・ユニオン、MoneyGram
供給の能力: 1ヶ月あたりの1000のPCS
詳細情報
製品名: 窒素の三フlト化物 密度: 3.003 kg/m3 (1台の自動支払機の15 °C)
臭気: かび臭い 出現: 無色のガス
CASいいえ。: 7783-54-2 Einecsいいえ。: 232-007-1
融点: −207.15 °C 沸点: −129.06 °C
ハイライト:

電気ガス

,

専門のガスと純度


製品の説明

NF3の液体ガス、窒素の三フlト化物、エレクトロニクス産業で使用される99.99~99.999%

 

記述:

 

窒素の三フlト化物(NF3)は包囲された条件の下に無色および安定したガスである。ガスは不燃性でしたりしかし燃焼を支えることができる。温度が350℃の上にあるとき強い酸化のフッ素を作り出すために、ガスはゆっくり分解し、従って、それは高温に強いオキシダントである。

 

生じるフッ素原子はpolysilicon、窒化珪素およびケイ素酸化物を攻撃する活動的な洗浄剤である。窒素の三フlト化物はタングステンのCVDによって作り出されるケイ化物およびタングステンと同様に使用することができる。

 

NF3は硫黄の六弗化物の環境的に望ましい代理かhexafluoroethaneのようなperfluorocarbonsとして考慮された。血しょうプロセスで加えられる20%の下に化学薬品のプロセス利用は普通ある。従ってPFCsのいくつかおよび大気への常のNF3脱出のまたいくつか。現代ガスの減少システムはそのような放出を減らすことができる。

 

指定:

 

1. 物理的性質

 

製品名 窒素の三フlト化物
分子方式 NF3
国連いいえ。 国連2451
CASいいえ。 7783-54-2
EINECSいいえ。 232-007-1

 

2.典型的な技術的なデータ

 

項目 単位 指示しなさい
NF3 Vol.%の≥ 99.995 99.99
CF4 Vol.%の≤ ≤20 ≤40
N2 Vol.%の≤ ≤5 ≤10
O2+Ar Vol.%の≤ ≤3 ≤5
CO Vol.%の≤ ≤1 ≤5
二酸化炭素 Vol.%の≤ ≤1 ≤5
N2O Vol.%の≤ ≤1 ≤5
SF6 Vol.%の≤ ≤2 ≤5
H2O Vol.%の≤ ≤3 ≤1

 

 

3. パッケージ

 

点の3AA/GB5099継ぎ目が無い鋼鉄シリンダー トン シリンダー

 

シリンダー情報 個々のシリンダー(47L) Yシリンダー ISOの管
材料 Mnの鋼鉄(316L)   Cr Mo鋼鉄  
弁の結合方式 CGA 330 CGS/DISS 640   DISS 640等  
タイプ DOT-3AA GB5099 47L*16/47L*25   20ft:40ft
圧力 9-13Mpa      
満ちる重量 20/22.7kg   195/200  

 

適用:

 

窒素の三フlト化物(NF3)はエレクトロニクス産業で広く利用されている、半導体およびそれが残るずっと利点のよいエッチングそしてクリーニングのガスの太陽光電気工業等、高いはっきりしている速度および分解すること容易。

連絡先の詳細
Vicky Liu

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