製品名: | 窒素の三フlト化物 | 密度: | 3.003 kg/m3 (1台の自動支払機の15 °C) |
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臭気: | かび臭い | 出現: | 無色のガス |
MF: | NF3 | 国連いいえ。: | 2451 |
等級: | 農業の等級、電子等級 | 水の容解性: | 0.021 g/100 mL |
ハイライト: | 電子ガス,専門のガスと純度 |
窒素の三フlト化物NF3、太陽写真-電気の企業で使用される99.99~99.999%
記述:
窒素の三フlト化物は方式NF3の無機化合物である
NF3は化学反応を経ないで水でわずかに溶ける。それは0.2340 D.の低い双極子時とnonbasicである。対照によって、アンモナルは基本的な、非常に北極である。この相違は窒素原子の単独組の電子すべてを本質的に引き付けているグループを撤回する電子として機能するフッ素原子から起こる。NF3は有効でけれども緩慢な酸化剤である。
NF3は地球温暖化の潜在性の温室効果ガス、二酸化炭素のそれより大きい17,200倍である。
指定:
1. 物理的性質
製品名 | 窒素の三フlト化物 |
分子方式 | NF3 |
国連いいえ。 | 国連2451 |
CASいいえ。 | 7783-54-2 |
EINECSいいえ。 | 232-007-1 |
2.典型的な技術的なデータ
項目 | 単位 | 指示しなさい | |
NF3 | Vol.%の≥ | 99.995 | 99.99 |
CF4 | Vol.%の≤ | ≤20 | ≤40 |
N2 | Vol.%の≤ | ≤5 | ≤10 |
O2+Ar | Vol.%の≤ | ≤3 | ≤5 |
CO | Vol.%の≤ | ≤1 | ≤5 |
二酸化炭素 | Vol.%の≤ | ≤1 | ≤5 |
N2O | Vol.%の≤ | ≤1 | ≤5 |
SF6 | Vol.%の≤ | ≤2 | ≤5 |
H2O | Vol.%の≤ | ≤3 | ≤1 |
3. パッケージ
点の3AA/GB5099継ぎ目が無い鋼鉄シリンダー トン シリンダー
シリンダー情報 | 個々のシリンダー(47L) | 束 | Yシリンダー | ISOの管 |
材料 | Mnの鋼鉄(316L) | Cr Mo鋼鉄 | ||
弁の結合方式 | CGA 330 CGS/DISS 640 | DISS 640等 | ||
タイプ | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | 20ft:40ft | |
圧力 | 9-13Mpa | |||
満ちる重量 | 20/22.7kg | 195/200 |
適用:
窒素の三フlト化物(NF3)はエレクトロニクス産業で広く利用されている、半導体およびそれが残るずっと利点のよいエッチングそしてクリーニングのガスの太陽光電気工業等、高いはっきりしている速度および分解すること容易。