詰物圧力:: | 5MPa | 国連いいえ:: | 3160 |
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空気及び水反作用: | 非常に可燃性ガス。まさに有毒物質。吸入によるまさに有毒物質。CONFENEMENTの下で熱されたら爆発の危険。 | シリンダー証明書:: | GB、ISOのセリウム、点 |
供給の能力:: | 1ヶ月あたりの30トン | 適用:: | 半企業 |
パッケージ:: | 30-1000kg/perシリンダー | シリンダー容積:: | 30LBの50LB使い捨て可能なシリンダー |
ハイライト: | 電気ガス,専門のガスと純度 |
デジタル電気電気器具および液晶表示装置で使用されるC4F6ガス
記述:
C4F6分子C:Fの比率は十分に高いFのエッチング基に関して部屋の表面およびウエファーの表面のポリマーの量を制御するには。本質的な特徴が基質に高い選択率を可能にするか、または写真がより広いプロセス窓によって比較される例えばC4F8 (Octafluorobutane)抵抗すること、より重要あり。この行動は潜水艦のための必要性に対応して特に有利0.25 mの条件である。
アルゴンの使用搬送ガスの窒化物の選択率が減少した機能で起因できるように。他の可能な搬送ガスに高められた選択率があるのでキセノン。従ってAr/Xeからの混合物はよい妥協である。
市場及び適用
毒性学情報
露出のルート | 吸入:吸い込まれたらまさに有毒物質。皮:5月は皮を通って吸収されたら有害である。5月の原因の皮膚のかぶれ。5月の原因の凍傷。目:5月の原因の目の刺激。 |
露出の印そして徴候 | 私達が知る限りでは、化学薬品、物理的なの、および毒性学の特性完全に調査されなかった。 |
適用:
1. C4F6は血しょう、イオン ビームの使用のために提案されるかまたは半導体デバイスの製造のエッチングを放出させる。
2. 特に顕著な結果はXeの血しょう誘電性のエッチングおよび搬送ガスおよびdilutantsとしてArで観察された。血しょうでそれをエッチングする誘電体はエッチングおよび沈殿種のバランスをとるために血しょう化学を制御して重要である。