製品名: | 窒素の三フlト化物 | 密度: | 3.003 kg/m3 (1台の自動支払機の15 °C) |
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臭気: | かび臭い | 出現: | 無色のガス |
CASいいえ。: | 7783-54-2 | Einecsいいえ。: | 232-007-1 |
等級: | 農業の等級、電子等級 | 水の容解性: | 0.021 g/100 mL |
ハイライト: | 電気ガス,電子ガス |
窒素の三フlト化物NF3、半導体で使用される99.99~99.999%
記述:
窒素の三フlト化物は無色、無臭、nonflammableガスである。元素フッ素はフラット パネル ディスプレイおよび薄膜の太陽電池の製造の窒素の三フlト化物のための環境に優しい取り替えとして導入された。
窒素の三フlト化物はタイプの化学レーザーである水素フッ化物および重水素フッ化物のレーザーでも使用される。それはかなりの安定性を反映する便利な処理の特性によるフッ素のガスに好まれる。
それは鋼鉄およびMonel、また複数のプラスチックと互換性がある。
指定:
1. 物理的性質
製品名 | 窒素の三フlト化物 |
分子方式 | NF3 |
国連いいえ。 | 国連2451 |
CASいいえ。 | 7783-54-2 |
EINECSいいえ。 | 232-007-1 |
2.典型的な技術的なデータ
項目 | 単位 | 指示しなさい | |
NF3 | Vol.%の≥ | 99.995 | 99.99 |
CF4 | Vol.%の≤ | ≤20 | ≤40 |
N2 | Vol.%の≤ | ≤5 | ≤10 |
O2+Ar | Vol.%の≤ | ≤3 | ≤5 |
CO | Vol.%の≤ | ≤1 | ≤5 |
二酸化炭素 | Vol.%の≤ | ≤1 | ≤5 |
N2O | Vol.%の≤ | ≤1 | ≤5 |
SF6 | Vol.%の≤ | ≤2 | ≤5 |
H2O | Vol.%の≤ | ≤3 | ≤1 |
3. パッケージ
点の3AA/GB5099継ぎ目が無い鋼鉄シリンダー トン シリンダー
シリンダー情報 | 個々のシリンダー(47L) | 束 | Yシリンダー | ISOの管 |
材料 | Mnの鋼鉄(316L) | Cr Mo鋼鉄 | ||
弁の結合方式 | CGA 330 CGS/DISS 640 | DISS 640等 | ||
タイプ | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | 20ft:40ft | |
圧力 | 9-13Mpa | |||
満ちる重量 | 20/22.7kg | 195/200 |
適用:
窒素の三フlト化物(NF3)はエレクトロニクス産業で広く利用されている、半導体およびそれが残るずっと利点のよいエッチングそしてクリーニングのガスの太陽光電気工業等、高いはっきりしている速度および分解すること容易。