製品名: | 密接に結びついた | 純度: | 99.999% |
---|---|---|---|
モルの固まり: | 117.17 g/mol | 出現: | 無色のガス |
CASいいえ。: | 7782-65-2 | EINECSいいえ。: | 231-961-6 |
主要な危険: | 、可燃性有毒、 | 水の容解性: | 低速 |
ハイライト: | 電気ガス,専門のガスと純度 |
高い純度Germanomethaneのエレクトロニクス産業で使用されるMonogermaneのガスGeH4
記述:
ガスはゲルマニウムおよび水素に600Kの近くで分解する。密接に結びついた熱不安定度のためにMOVPEか化学ビーム エピタクシーによってゲルマニウムのエピタキシアル成長のために半導体工業で使用される。Organogermaniumの前駆物質(例えばisobutylgermane、alkylgermaniumの三塩化物およびdimethylaminogermaniumの三塩化物)はMOVPEによってGE含んでいるフィルムの沈殿のための密接に結びついたへのより少なく危険な液体の代わりとして検査された。Germaneisグループ14の水素化合物。
指定:
1. 物理的性質
製品名 | 密接に結びついた |
分子方式 | GeH4 |
国連いいえ。 | 国連2192 |
CASいいえ。 | 7782-65-2 |
EINECSいいえ。 | 231-961-6 |
2. 典型的な技術的なデータ(COA)
部品 | 指定 |
密接に結びついた | ≥99.999% |
二酸化炭素 | <2> |
一酸化炭素 | <1> |
Digermane | <20> |
窒素 | <2> |
水素 | <50> |
Oxygen+のアルゴン | <0> |
THC (メタンとして) | <1> |
Trigername | <2> |
3. パッキングの細部:
シリンダー サイズ
|
シリンダー次元
|
関係
|
内容
|
49L
|
23cm*1420cmおよそ。
|
CGA632
|
網:1.5kg
|
4. 適用:
窒素の三フlト化物(NF3)はエレクトロニクス産業で広く利用されている、半導体およびそれが残るずっと利点のよいエッチングそしてクリーニングのガスの太陽光電気工業等、高いはっきりしている速度および分解すること容易。