| 製品名: | 密接に結びついた | 出現: | 無色のガス |
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| モルの固まり: | 117.17 g/mol | 分子形: | 四面体 |
| 密度: | 3.3 kg/m3 | EINECSいいえ。: | 231-961-6 |
| 蒸気圧: | >1台の自動支払機 | 他の名前: | Germanomethane |
| ハイライト: | 電気ガス,専門のガスと純度 |
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密接に結びついた10%および49Lシリンダーの水素ガスの混合物は半導体の企業で使用する
記述:
ガスはゲルマニウムおよび水素に600Kの近くで分解する。密接に結びついた熱不安定度のためにMOVPEか化学ビーム エピタクシーによってゲルマニウムのエピタキシアル成長のために半導体工業で使用される。Organogermaniumの前駆物質(例えばisobutylgermane、alkylgermaniumの三塩化物およびimethylaminogermaniumの三塩化物)はMOVPEによってGE含んでいるフィルムの沈殿のための密接に結びついたへのより少なく危険な液体の代わりとして検査された。
指定:
1. 物理的性質
| 製品名 | 密接に結びついた |
| 分子方式 | GeH4 |
| 国連いいえ。 | 国連2192 |
| CASいいえ。 | 7782-65-2 |
| EINECSいいえ。 | 231-961-6 |
2. 典型的な技術的なデータ(COA)
| 部品 | 指定 |
| 密接に結びついた | ≥99.999% |
| 二酸化炭素 | <2> |
| 一酸化炭素 | <1> |
| Digermane | <20> |
| 窒素 | <2> |
| 水素 | <50> |
| Oxygen+のアルゴン | <0> |
| THC (メタンとして) | <1> |
| Trigername | <2> |
3. パッキングの細部:
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シリンダー サイズ
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シリンダー次元
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関係
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内容
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49L
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23cm*1420cmおよそ。
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CGA632
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網:1.5kg
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4. 適用:
窒素の三フlト化物(NF3)はエレクトロニクス産業で広く利用されている、半導体およびそれが残るずっと利点のよいエッチングそしてクリーニングのガスの太陽光電気工業等、高いはっきりしている速度および分解すること容易。