格付け基準: | 医学級 | アプリケーション: | アイ レンズ |
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他の名前: | レーザーの混合のガス | パッケージ: | 弁Din8との20L |
材料: | ArF |
エクシマーレーザー前混合ガスレーザーガスミックス TUIMIX CTXX V3.0 ニューレーザーガス Suyee
製品名:レーザー混合ガス
その他の名称:アルゴンフッ化物レーザーガス (193nm)
モデル:TUI-CTXX-ARF V30
エクシマーレーザーガス担当マネージャー:
どんなアプリ?008618602768623
製品種:ArF,F2/Ar/He/Ne
UNNO UN1956
シリンダー容量: 16L, 20L
バルブタイプ:CGA679,DIN 8,DIN 14
製品データの一部は次のとおりです.
仕様 |
認定 集中度 |
単位
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分析方法 |
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エキシマーレーザーガス |
基準 |
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窒素 (N2) |
≤ 40 |
2.6 |
ppmv |
GC/PDID |
酸素 (O2) |
≤ 10 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
炭化物 (CO) |
≤ 10 |
0.2 |
ppmv
|
GC/PDID |
二酸化炭素 (CO)2) |
≤ 10 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
他のハロカーボン (THC) |
≤ 10 |
≤ 10 |
ppmv
|
GC/PDID |