製品名: | 窒素の三フlト化物 | 純度: | 99.99%から99.999% |
---|---|---|---|
モルの固まり: | 71.00 g/mol | 出現: | 無色のガス |
CASいいえ。: | 7783-54-2 | Einecsいいえ。: | 232-007-1 |
融点: | −207.15 °C | 沸点: | −129.06 °C |
ハイライト: | 電気ガス,電子ガス |
NF3の液体ガス、窒素の三フlト化物、500Lシリンダーに10Lで包まれる99.99~99.999%
記述:
窒素の三フlト化物は方式NF3の無機化合物である。この窒素フッ素の混合物は無色、無臭、nonflammableガスである。それはマイクロエレクトロニクスのetchantとして増加する使用を見つける。
窒素の三フlト化物は方式NF3の無機化合物である。この窒素フッ素の混合物は無色、無臭、nonflammableガスである。それはマイクロエレクトロニクスのetchantとして増加する使用を見つける。
窒素の三フlト化物はシリコンの薄片の血しょうエッチングで使用される。今日窒素の三フlト化物は液晶表示器およびケイ素 ベースの薄膜の太陽電池の大量の生産のPECVDの部屋のクリーニングで主に用いられる。これらの適用でNF3は血しょうによって最初に現場で破壊される。
指定:
1. 物理的性質
製品名 | 窒素の三フlト化物 |
分子方式 | NF3 |
国連いいえ。 | 国連2451 |
CASいいえ。 | 7783-54-2 |
EINECSいいえ。 | 232-007-1 |
2.典型的な技術的なデータ
項目 | 単位 | 指示しなさい | |
NF3 | Vol.%の≥ | 99.995 | 99.99 |
CF4 | Vol.%の≤ | ≤20 | ≤40 |
N2 | Vol.%の≤ | ≤5 | ≤10 |
O2+Ar | Vol.%の≤ | ≤3 | ≤5 |
CO | Vol.%の≤ | ≤1 | ≤5 |
二酸化炭素 | Vol.%の≤ | ≤1 | ≤5 |
N2O | Vol.%の≤ | ≤1 | ≤5 |
SF6 | Vol.%の≤ | ≤2 | ≤5 |
H2O | Vol.%の≤ | ≤3 | ≤1 |
3. パッケージ
点の3AA/GB5099継ぎ目が無い鋼鉄シリンダー トン シリンダー
適用:
窒素の三フlト化物(NF3)はエレクトロニクス産業で広く利用されている、半導体およびそれが残るずっと利点のよいエッチングそしてクリーニングのガスの太陽光電気工業等、高いはっきりしている速度および分解すること容易。