かび臭い臭気、−129.06 °Cの沸点のNF3 99.99~99.999%純度の無色の電子ガス

NF3の液体ガス、窒素の三フlト化物、エレクトロニクス産業で使用される99.99~99.999%

記述:

窒素の三フlト化物（NF3）は包囲された条件の下に無色および安定したガスである。ガスは不燃性でしたりしかし燃焼を支えることができる。温度が350℃の上にあるとき強い酸化のフッ素を作り出すために、ガスはゆっくり分解し、従って、それは高温に強いオキシダントである。

生じるフッ素原子はpolysilicon、窒化珪素およびケイ素酸化物を攻撃する活動的な洗浄剤である。窒素の三フlト化物はタングステンのCVDによって作り出されるケイ化物およびタングステンと同様に使用することができる。

NF3は硫黄の六弗化物の環境的に望ましい代理かhexafluoroethaneのようなperfluorocarbonsとして考慮された。血しょうプロセスで加えられる20%の下に化学薬品のプロセス利用は普通ある。従ってPFCsのいくつかおよび大気への常のNF3脱出のまたいくつか。現代ガスの減少システムはそのような放出を減らすことができる。

指定:

1. 物理的性質

2.典型的な技術的なデータ

3. パッケージ

点の3AA/GB5099継ぎ目が無い鋼鉄シリンダー トン シリンダー

適用:

窒素の三フlト化物（NF3）はエレクトロニクス産業で広く利用されている、半導体およびそれが残るずっと利点のよいエッチングそしてクリーニングのガスの太陽光電気工業等、高いはっきりしている速度および分解すること容易。