製品名: | 窒素の三フlト化物 | 密度: | 3.003 kg/m3 (1台の自動支払機の15 °C) |
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臭気: | かび臭い | 出現:: | 無色のガス |
適用: | シリコンの薄片の血しょうエッチング | Einecsいいえ。: | 232-007-1 |
融点: | −207.15 °C | 沸点: | −129.06 °C |
ハイライト: | 電子ガス,専門のガスと純度 |
シリコンの薄片の血しょうエッチングで使用される窒素の三フlト化物NF3、99.99~99.999%
記述:
窒素の三フlト化物(NF3)はTFT-LCD、半導体および太陽光電気工業等ででなく、分解することremaing広く利用された、血しょうクリーニングおよびエッチングのためのクリーニングのガスとしてエレクトロニクス産業のための新しく特別なガス高いはっきりしている速度および容易の利点を持っている。
数年の連続的なR & Dによってに成長基づいて電気分解およびフッ化物の生産技術、会社は複数を世界で進むproduionの技術達成した。2009 LRICIが日本、ずっと台湾からの国内顧客そして顧客に安定している電子等級プロダクトNF3ガスの高い評判の製造者ので、韓国等。会社は今1000 t/aの容量があり、uceさらにもっとより99.999%のspecを、NF3生産絶えずそして固定して突くことができる。
指定:
1. 物理的性質
製品名 | 窒素の三フlト化物 |
分子方式 | NF3 |
国連いいえ。 | 国連2451 |
CASいいえ。 | 7783-54-2 |
EINECSいいえ。 | 232-007-1 |
2.典型的な技術的なデータ
不純物 | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
二酸化炭素 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
HF | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
CO | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
3. パッケージ
点の3AA/GB5099継ぎ目が無い鋼鉄シリンダー トン シリンダー
シリンダー情報 | 個々のシリンダー(47L) | 束 | Yシリンダー | ISOの管 |
材料 | Mnの鋼鉄(316L) | Cr Mo鋼鉄 | ||
弁の結合方式 | CGA 330 CGS/DISS 640 | DISS 640等 | ||
タイプ | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | 20ft:40ft | |
圧力 | 9-13Mpa | |||
満ちる重量 | 20/22.7kg | 195/200 |
適用:
窒素の三フlト化物(NF3)はエレクトロニクス産業で広く利用されている、半導体およびそれが残るずっと利点のよいエッチングそしてクリーニングのガスの太陽光電気工業等、高いはっきりしている速度および分解すること容易。