製品名: | 窒素の三フlト化物 | 分子形: | Trigonalピラミッド形 |
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引点火: | non-flammable | 出現:: | 無色のガス |
適用: | シリコンの薄片の血しょうエッチング | Einecsいいえ。: | 232-007-1 |
融点: | −207.15 °C | 沸点: | −129.06 °C |
ハイライト: | 電気ガス,専門のガスと純度 |
窒素の三フlト化物NF3、タングステンのCVDによって作り出されるケイ化物およびタングステンと使用される99.99~99.999%
記述:
NF3はかび臭い臭気の無色のガスである。吸入によって非常に有毒。水のわずかにsoluble。ティッシュへの腐食物。長期暴露の下で容器を熱する始動させるか、またはおよびロケット激しく破裂するかもしれない。ロケット燃料の部品として他の化学薬品をおよび作るのに使用される。
こぼされた材料からの可燃物(木、ペーパー、オイル、等)を保ちなさい。こぼされた材料を通って触れなかったり、または歩かせてはいけない。危険なしでそれをすることができれば停止漏出。もし可能なら、回転漏出容器液体よりもむしろガスの脱出。漏出のこぼれかもとで水を指示してはいけない。蒸気を減らすか、または蒸気ドリフトする雲を転換するのに水スプレーを使用しなさい。水雨水がこぼされた材料に連絡するように避けなさい。水路、下水道、地階または限られた区域に記入項目を防ぎなさい。物質が蒸発するようにしなさい。ガスが分散したまで隔離集団区域。注意:冷やされていた/低温液化ガスと接触して、多くの材料が壊れやすくなり、警告なしで壊れるためにが本当らしい時。
指定:
1. 物理的性質
製品名 | 窒素の三フlト化物 |
分子方式 | NF3 |
国連いいえ。 | 国連2451 |
CASいいえ。 | 7783-54-2 |
EINECSいいえ。 | 232-007-1 |
2.典型的な技術的なデータ
不純物 | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
二酸化炭素 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
HF | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
CO | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
3. パッケージ
点の3AA/GB5099継ぎ目が無い鋼鉄シリンダー トン シリンダー
シリンダー情報 | 個々のシリンダー(47L) | 束 | Yシリンダー | ISOの管 |
材料 | Mnの鋼鉄(316L) | Cr Mo鋼鉄 | ||
弁の結合方式 | CGA 330 CGS/DISS 640 | DISS 640等 | ||
タイプ | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | 20ft:40ft | |
圧力 | 9-13Mpa | |||
満ちる重量 | 20/22.7kg | 195/200 |
適用:
窒素の三フlト化物(NF3)はエレクトロニクス産業で広く利用されている、半導体およびそれが残るずっと利点のよいエッチングそしてクリーニングのガスの太陽光電気工業等、高いはっきりしている速度および分解すること容易。