CASいいえ:: | 685-63-2 | 他の名前:: | 1,1,2,3,4,4-hexafluorbuta-1,3-dieen |
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危険のクラス: | 2.3 | 原産地:: | 湖北 |
純度:: | 99.95% | 適用:: | をエッチングする過フッ化炭化水素ベースの血しょう |
パッケージ:: | 顧客シリンダー盛り土 | シリンダー容積:: | 50L |
ハイライト: | 電気ガス,専門のガスと純度 |
高い純度C4F6 gas99.995%、過フッ化炭化水素ベースの血しょうエッチングの使用
記述:
ロシアで開発したHFB、C4F6乾式食刻のガス。C4F6は90 nm狭いの線幅で乾式食刻をまたはより少なく可能にする。従ってそれは処理システムLSIsのために不可欠および高速、デジタル電気電気器具および液晶表示装置でますます使用される大容量のメモリ素子、記憶装置である。
過フッ化炭化水素のガスは酸化膜ケイ素を処理するために広く利用されている。現在130 nmの線幅で処理のために使用されるoctafluorocyclobutane (C4F8)と比較されてC4F6に次の利点がある:
狭く、深い溝に終る1.Highアスペクト レシオ、(非常に狭い線幅で処理のために適した)
2.High選択率(酸化膜ケイ素のエッチングだけを保障する;光硬化性樹脂、シリコン基板または窒化物のフィルムに影響を与えない)
消火活動の手段を
引点火 | 利用できるデータ無し。 |
消灯媒体 | 適した:スプレーに水をまきなさい、泡、二酸化炭素を乾燥しなさい。 |
消火 | 防護装置:皮および目が付いている接触を防ぐためにはめ込み式呼吸装置および防護衣を身に着けなさい。特定の危険:火の状態の下で有毒な発煙を出す。シリンダーは火の状態の下で破裂するかもしれない。量の水にあふれることのすべての影響を受けた容器を冷却しなさい。 |
救急手段
吸入露出 | 吸い込まれたら、新鮮な空気に露出されて取除きなさい。呼吸が困難、医者をすぐに電話しなさい。 |
皮膚露出 | 露出の場合には、すぐに水の石鹸そしておびただしい量の皮を洗浄しなさい。医者をすぐに電話しなさい。 |
目の露出 | 目が付いている接触の場合には、少なくとも15分の水のおびただしい量のフラッシュ。指を搭載する瞼の分離によって十分な洗い流すことを保証しなさい。医者をすぐに電話しなさい。 |
口頭露出 | 記入項目のない正常なルート。飲み込まれたら、人が意識していたら水が付いている口を洗浄しなさい。医者を電話しなさい。 |
適用:
1.C4F6はガスを形作る有機金属のフィルムとして使用できる
2. HFB (C4F6)のガスは洗浄剤、スクラバーを処理するwaste-gasとして使用できる