Beschrijving: | Toxischのontvlambaarガス | 他の名前:: | Hexafluoro 1,3ブタジエン |
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結め換え品:: | わかりました | シリンダー証明書:: | GB、ISOのセリウム、点 |
供給の能力:: | 1ヶ月あたりの30トン | 適用:: | 企業 |
パッケージ:: | 30-1000kg/perシリンダー | シリンダー容積:: | 30LBの50LB使い捨て可能なシリンダー |
ハイライト: | 電気ガス,専門のガスと純度 |
重大な誘電性の腐食の塗布のためのHexafluorobutadiene C4F6のガス化学。
記述:
C4F6は交互になる二重結合が付いている不飽和過フッ化炭化水素である。それは無色、無臭、血しょう有毒、イオン ビームのための非常に高性能を示す可燃性ガスであるまたはキャリアか希薄のガスとしてキセノン(Xe)およびアルゴン(Ar)と製造する半導体デバイスのエッチングを放出させなさい。短い大気寿命が原因で(< 1day="">
Hexafluoro1,3 ‐のbutadineは有毒な、無色、無臭の、可燃性の溶かされた圧縮されたガスである。
高いアスペクト レシオの接触の穴のエッチングのためのetchantガスとしてC4F6ガスはよい場合もある
PFCのガスへの代わり。
安定性および反応
安定性 | 馬小屋:推薦された貯蔵条件の下の馬小屋。避けるべき材料:強い酸化代理店。避けるべき条件:使用の後でさえもないピアースか焼跡を、しなさい。露出した炎か白熱材料で吹きかけてはいけない。熱、炎および火花。 |
危険な分解プロダクト | 危険な分解プロダクト:カーボン酸化物、水素フッ化物。 |
危険な重合 | 危険な重合:起こらない。 |
適用:
1. HFB (C4F6)のガスは洗浄剤、スクラバーを処理するwaste-gasとして使用できる
2. 光ファイバーの通信設備のためのHexafluoro-2-butyneのガスの部品。
3. 従ってそれは処理システムLSIsのために不可欠および高速、デジタル電気電気器具および液晶表示装置でますます使用される大容量のメモリ素子、記憶装置である。