臭気:: | 無臭 | 色: | 無色 |
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空気及び水反作用: | 非常に可燃性ガス。まさに有毒物質。吸入によるまさに有毒物質。CONFENEMENTの下で熱されたら爆発の危険。 | シリンダー証明書:: | GB、ISOのセリウム、点 |
供給の能力:: | 1ヶ月あたりの30トン | 適用:: | 半企業 |
パッケージ:: | 30-1000kg/perシリンダー | シリンダー容積:: | 30LBの50LB使い捨て可能なシリンダー |
ハイライト: | 電気ガス,専門のガスと純度 |
電子専門はTFT LCDsの半導体の製作そして製造業の間に使用されるC4F6にガスを供給する
記述:
C4F6は誘電性の腐食IPS (TM)のための新しく環境に優しく、高性能の、腐食化学Centuraである(R)および誘電体の腐食極度のe (TM) Centuraのシステム。C4F6ガスは重大な誘電性の腐食の塗布の光硬化性樹脂に提供するより高い腐食率、よりよいならい制御およびより高い選択率をできる。
C4F6ガスは低いK材料を含む銅の二重ダマスカス、自己一直線に並べられた接触および高いアスペクト レシオの接触の腐食の塗布のような重要な地域の誘電性の腐食プロセス結果を、改善する。それはまた現在の腐食化学上の重要な環境の利点を表わす。
半導体工業は地球温暖化のずっと放出を減らすために新しいガス化学を調査している。腐食プロセス性能、C4F6ガス特徴の低速の地球温暖化の放出の改良に加えておよびゼロ オゾン層破壊の潜在性。
高圧ガス | |
分子量 | 162.03 |
国連コード | 3160 |
許された集中 | 不安定にされて(参照value5ppm) |
記述 | 無色のガス |
臭気 | 無臭 |
比重 | 5.892 |
沸点 | 5.5℃ |
密度(液体) | 1.44kg/ℓ (15℃) |
適用:
1. C:C4 F6の分子のFの比率は十分に高い縦のプロフィールを作り出すためにそう他のガス上の優秀な結果を達成する基をエッチングするFに関して部屋の表面およびウエファーの表面のポリマーの量を制御するには。より重要、本質的な特徴はC4 F8と比較される基質に高い選択率をか光硬化性樹脂およびより広いプロセス窓可能にする。
2. この行動は潜水艦のための必要性に対応して特に有利0.25 mの条件である。ArはArのために搬送ガス窒化物の選択率の結果として減少した機能使用されている。