| 起源の場所: | 山東 |
|---|---|
| ブランド名: | OEM |
| 証明: | ISO9001 |
| モデル番号: | N/M |
| 最小注文数量: | 60キログラム |
| 価格: | negotiation |
| パッケージの詳細: | 30lb - 926Lシリンダー パッケージ |
| 受渡し時間: | 7-10日 |
| 支払条件: | ウェスタン・ユニオン、L/C、T/T |
| 供給の能力: | 50Ton |
| 出現:: | ガス | 色: | 無色 |
|---|---|---|---|
| 臭気:: | 無臭 | 分子量:: | 162.03 g/mol |
| 融点/凝固点:: | -130 C | 沸騰沸点/沸騰のの範囲:: | -5.5 C |
| 引点火:: | ./。 | 化学名：: | Hexafluoro 1,3ブタジエン |
| ハイライト: | 電気ガス,専門のガスと純度 |
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半導体の処理のためのガスをエッチングするC4F6
記述:
C4F6 （Hexafluoro 1,3ブタジエン）は誘電性の腐食の塗布のために使用される。Hexafluoro 1,3ブタジエンは有毒な、無色、無臭の、可燃性の溶かされた圧縮されたガスである。
パッケージ:44~49Lシリンダー、CGA350 SS弁
満ちる内容:20kg/cyl
C4F6は、環境に優しい、高性能半導体の製作の専門のガスそれである
高い腐食率、よいアスペクト レシオ制御および高い選択率をに提供する
重大な誘電性の腐食の塗布の光硬化性樹脂。
C4F6ガスは多くの主プロセス区域の、0.13ミクロンのための銅の二重ダマスカスの適用そして低いKの誘電材料を含むそしてチップ デザインを越える誘電性の腐食プロセス結果を改善する。Sifren 46は低い地球温暖化の放出の環境の利点をおよびゼロまた提供する
オゾン層破壊の潜在性。
物理的な、化学特性
| 出現および臭気 | ガス@ 25の°Cおよび760のmmHg。 |
| 融点: | -132.1 °C |
| 沸点 | 6 -7 °C @ 760のmmHg |
| 蒸気圧: | 25 psiaの@ 20 °C |
| 密度: | °C 1.553 g/mLの@ -20 |
| R.I.: | 1.378 @ -20 °C |
標準パッケージINFORMATION-ASIAおよび北アメリカ
| 容器のサイズ | 44L鋼鉄 | 8L鋼鉄 |
| 盛り土の重量（キログラム） | 45 | 5 |
| 弁ConnecƟon | PneumaƟc DISS 724 | 手動DISS 724 |
| シリンダー次元（） | 9x51 | 7x19 |
適用:
1.副四分の一ミクロン装置のための血しょうエッチング プロセス。
2. Perfluorocarbonの代わりとなるガス血しょう
3. TFT LCDsおよびphotovoltaicsで使用される。
