熱力学データ: | 段階の行動の固体液体ガス | 分光データ:: | 、NMR IR MS紫外線 |
---|---|---|---|
純度:: | 99.9%~99.999% | 他の名前: | カーボン六弗化物、1,1,1,2,2,2-Hexafluoroethane、Perfluoroethane、EthforaneのHalocarbon 116、PFC-116、CFC-116、R-116 |
出現:: | 無色の液化ガス | 国連いいえ。: | 2193 |
等級の標準: | 電子等級の産業等級 | 同義語: | 1,1,1,2,2,2-Hexafluoroethane;C2F6;エタン、hexafluoro-;Ethylhexafluoride;f116;F-116;FC1160;過フッ化炭化水素116 |
適用: | 電子工学装置、変圧器、冷凍の液体 | MF:: | C2F6 |
MW:: | 138.01 | ||
ハイライト: | 電気ガス,専門のガスと純度 |
Hexafluoroethaneの記述:
1. 絶縁材のガス、血しょうエッチングの代理人の高い絶縁耐力のヒース代理店として使用される
2。血しょうエッチングのガスおよび装置表面のクリーニングのマイクロエレクトロニクス工業のため、繊維の生産、低温の冷凍。
3.環境、水および大気に有害大気オゾン層により持っている強く有害な力を汚染を引き起こすことができる。
指定:
1. 物理的性質
商品 |
Hexafluoroethane |
分子方式 |
R116 |
CAS |
76-16-4 |
国連いいえ。 |
2193 |
危険なクラス |
2.2 |
MF: |
C2F6 |
シリンダ容積 |
40L、500L |
満ちる重量 |
530kg/500L詰め替え式シリンダー 20kg/40L詰め替え式シリンダー |
貯蔵および交通機関 |
45Cの下の使用、店および輸送。涼しく、well-ventilated区域の店。火、熱、日光および可燃性の物質から保ちなさい。ガス ポンプおよび付属品への損傷を避けるために荷を積み、荷を下した場合注意深のハンドル。 |
2.典型的な技術的なデータ
純度、% | ≥99.8 |
湿気、PPM | ≤10 |
酸味、PPM | ≤1 |
蒸気残余、PPM | ≤100 |
出現 | 無色、turbid |
臭気 | 奇妙な悪臭無し |
分子量 | 66.1 |
沸点、°C | -24.7 |
臨界温度、°C | 113.5 |
臨界圧、Mpa | 4.58 |
液体、30°Cの比熱、[KJ/(kg°C)] | 1.68 |
ODP | 0 |
GWP | 0.014 |
適用:
多機能のエッチングの技術 | 金属の半導体のエッチングの生産 |
金属の基質 |
それは金属のケイ素金属および金属酸化物の選択的なエッチングで使用することができる。 発射するべき長期暴露か厳しい暑さの下で容器はおよびロケット激しく破裂するかもしれない。 |