格付け基準: | 医学級 | アプリケーション: | エキシマー レーザーの彫刻家 |
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他の名前: | レーザーの混合のガス | パッケージ: | 弁Din8との20L |
材料: | ArF |
TUIMIX CTXX ArF V3.0 エキシマレーザー彫刻機用混合ガス
製品名:レーザー混合ガス
別名:アルゴンフッ化物レーザーガス(193nm)
モデル:TUI-CTXX-ARF V 3.0
製品担当者:Suyee Su
whatapp:008618602768623
製品タイプ:ArF、F2/Ar/He/Ne
UN NO.:UN1956
シリンダー容量:16L、20L
バルブタイプ:CGA679、DIN 8、DIN 14
製品データの詳細は以下の通りです:
仕様 |
認定 濃度 |
単位
|
分析方法 |
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エキシマレーザーガス |
規格 |
|
|
|
窒素(N2) |
≦ 4.0 |
2.6 |
ppmv |
GC/PDID |
酸素(O2) |
≦ 1.0 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
一酸化炭素(CO) |
≦ 1.0 |
0.2 |
ppmv
|
GC/PDID |
二酸化炭素(CO2) |
≦ 1.0 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
その他のハロカーボン(THC) |
≦ 1.0 |
≦ 1.0 |
ppmv
|
GC/PDID |