等級の標準: | 薬の等級 | 適用: | アイ レンズ |
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他の名前: | レーザーの混合のガス | パッケージ: | 弁Din8との20L |
材料: | ArF |
非常に輸出のための経験のPremixedガスのExciStar 200レーザーのガス
製品名:レーザーの混合物のガス
他の名前:アルゴンのフッ化物 レーザーのガス(193nm)
モデル:ExciStar 200
エキシマー レーザーのガスのための責任があるマネージャー:Suyee Su
どんなappか:008618602768623
製品タイプ:ArF、F2/Ar/He/Ne
国連いいえ:UN1956
シリンダー容積:16L、20L
弁のタイプ:CGA679、DIN 8、DIN 14
次の通りあるプロダクト データの一部分:
指定 |
証明される 集中 |
単位
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分析的な方法 |
|
エキシマー レーザーはガスを供給する |
標準 |
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|
|
窒素(N2) |
≤ 4.0 |
2.6 |
ppmv |
GC/PDID |
酸素(O2) |
≤ 1.0 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
一酸化炭素(CO) |
≤ 1.0 |
0.2 |
ppmv
|
GC/PDID |
二酸化炭素(二酸化炭素) |
≤ 1.0 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
他のHalocarbons (THC) |
≤ 1.0 |
≤ 1.0 |
ppmv
|
GC/PDID |