格付け基準: | 医学級 | アプリケーション: | アイ レンズ |
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他の名前: | レーザーの混合のガス | パッケージ: | 弁Din8との20L |
材料: | ArF |
国際市場向け高品質プレミックスガス ExciStar 200 レーザーガス
製品名:レーザー混合ガス
別名:アルゴンフッ化物レーザーガス (193nm)
モデル:ExciStar 200
エキシマレーザーガス担当者:Suyee Su
WhatsApp: 008618602768623
製品タイプ:ArF, F2/Ar/He/Ne
UN NO.:UN1956
シリンダー容量:16L、20L
バルブタイプ:CGA679、DIN 8、DIN 14
製品データの一部は以下の通りです:
仕様 |
認定 濃度 |
単位
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分析方法 |
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エキシマレーザーガス |
規格 |
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窒素 (N2) |
≤ 4.0 |
2.6 |
ppmv |
GC/PDID |
酸素 (O2) |
≤ 1.0 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
一酸化炭素 (CO) |
≤ 1.0 |
0.2 |
ppmv
|
GC/PDID |
二酸化炭素 (CO2) |
≤ 1.0 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
その他のハロカーボン (THC) |
≤ 1.0 |
≤ 1.0 |
ppmv
|
GC/PDID |