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注文のエキシマー レーザーは193nm石版印刷のためのアルゴンのフッ化物 レーザーにガスを供給する

基本情報
起源の場所: 中国
ブランド名: Newradar
証明: ISO/DOT/GB
モデル番号: N/A
最小注文数量: 1PCS
価格: negotiation
パッケージの詳細: 詰められたin10L-50Lシリンダーまたは要求に従って詰められて。
受渡し時間: お支払いを受け取ってから25営業日
支払条件: L/C、T/T、ウェスタン・ユニオン、MoneyGram
供給の能力: 1ヶ月あたりの500 PC
詳細情報
製品名: アルゴンのフッ化物の混合物 詰物ガス: アルゴン、ネオンおよびフッ素のガスの混合物
弁のタイプ: CGA679 適用: エキシマーのレーザー
シリンダー容積: 4-50Lまたはカスタマイズするため 詰物圧力: 1800-2000 Psig
ハイライト:

レーザーのガスの混合物

,

msdsの天燃ガス


製品の説明

注文のエキシマー レーザーは193nm石版印刷のためのアルゴンのフッ化物 レーザーにガスを供給する

 

 

記述:

 

アルゴンのフッ化物の混合物は不活性ガスの混合物と共に193のnmの石版印刷の適用で、通常使用される。

 

アルゴンのフッ化物 レーザーは時々exciplexレーザーと呼ばれるエキシマー レーザーの特定の種類である。193ナノメーターの波長によって、それは半導体の集積回路の生産、目の外科で一般的の深く紫外レーザーmicromachining、および科学研究であり。言葉のエキシマーはexciplexは「興奮する複合体」のために短いが、「興奮する二量体」のために短い。エキシマー レーザーは普通第18族元素の混合物を使用し、電気刺激および高圧の適した条件の下で、紫外範囲の凝集性の刺激された放射を出すハロゲン ガス。

 

ArFのエキシマーのレーザーは高解像の写真平版機械、マイクロエレクトロニック破片の製造業に必要な重大な技術の1で広く利用されている。エキシマー レーザーの石版印刷はトランジスター形状が2012年に1990年から22ナノメーターの800ナノメーターから縮まることを可能にした。

 

 

指定:

 

1. 物理的性質

 

商品 アルゴンのフッ化物のガス
分子方式 ArF
段階 ガス

無色

transortのための危険なクラス 2.2

 

2.典型的な技術的なデータ(COA)

 

主要コンポーネント
部品 集中 範囲
フッ素 1.0% 0.9-1.0%
アルゴン 3.5% 3.4-3.6%
ネオン バランス  
Maxinumの不純物
部品 集中(ppmv)
二酸化炭素(二酸化炭素) <5>
一酸化炭素(CO) <1>
カーボンTetrafluoride (CF4) <2>
カルボニルのフッ化物(COF2) <2>
ヘリウム(彼) <8>
湿気(H2O) <25>
窒素(N2) <25>
窒素の三フlト化物(NF3) <1>
酸素(O2) <25>
ケイ素のTetrafluoride (SiF4) <2>
硫黄の六弗化物(SF6) <1>
THC (メタン) (CH4として) <1>
キセノン(Xe) <10>

 

3. パッケージ

 

シリンダー指定 目次 圧力
シリンダー 弁の出口の選択 立方フィート リットル PSIG
1 CGA679 DISS 728 265 7500 2000年 139
2 CGA679 DISS 728 212 6000 2000年 139
3 CGA679 DISS 728 71 2000年 1800 125

 

適用:

 

アルゴンのフッ化物の混合物は不活性ガスの混合物と共に193のnmの石版印刷の適用で、通常使用される。

 

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連絡先の詳細
Vicky Liu

電話番号 : 86-27-82653381

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